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外媒報導,度逼
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中國受美國出口管制影響,【代妈助孕】難量「羲之」定位精度可達 0.6 奈米 ,代妈应聘机构號稱性能已能媲美國際主流設備,
浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」,但由於採用「逐點書寫」(point-by-point writing)──電子束必須像筆逐點描繪電路圖案──因此製作一片晶圓需要更長時間,代妈费用多少同時售價低於國際平均水準,中芯國際的【代妈机构】 5 奈米量產因此受阻 ,無法取得最先進的代妈机构 EUV 機台 ,哈爾濱團隊之前研發出能產生 13.5 奈米 EUV 光的 LDP 光源,最快今年第三季展開試產;如今浙江大學又帶來 EBL 新設備 。中國正積極尋找本土化解方 。【代妈机构】並透過多重圖案化技術(multiple patterning)推進製程 ,只能依賴 DUV,
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